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총 33 건
논문 국내 국내전문학술지(KCI급)
전해 크롬도금 대체용으로서의 CrC 스퍼터링에 관한 연구
  • 2002-01
  • 임종민, 최균석, 이종무*
논문 국내 국제전문학술지(SCI급)
Dry Cleaning for Organic Contaminants on Si wafer using UV/O~ 3 and ECR Plasma
논문 국내 국제전문학술지(SCI급)
Removal of Cr and Zn impurities from the Si substrate using the remote plasma H2
  • 2001-07
  • Choi, K (Choi, K) ; Lee, CM* (Lee, CM)
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