콘텐츠 본문
논문 해외 국제전문학술지(SCI급) Semiconductors-Enhancement of Ru Nucleation in Ru-Metal Organic Chemical Vapor Deposition by Electron Cyclotron Resonance Plasma Pretreatment
- 학술지 구분 국제전문학술지(SCI급)
- 게재년월 2003-
- 학술지명 Japanese Journal of Applied Physics
- 발행국가 해외
- 논문언어 외국어
